

物質の臨界点(Tc, Pc)以上の状態を超臨界流体と呼び、気体の性質(高拡散性)と液体の性質(物質の溶解力)を持ち合わせています。
この特性を生かして、化学・食品分野では環境負荷の高い有機溶媒の代替として、また、半導体・MEMS等の分野では超微細部の洗浄・乾燥溶媒として利用することができ、環境にも優しい技術として注目されています。
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10.19 UP!
SEMICON JAPAN 2009 出展 |
2009.12.2~12.4 |
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10.19 UP!
ADMETA 2009にて研究発表 |
2009.10.19~10.21 |
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5.22 UP!
第20回 |
2009.7.29~7.31 |
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4.10 UP!
平成21年春期第70回 |
2009.4.1 |