超臨界流体とは?

物質の臨界点(Tc, Pc)以上の状態を超臨界流体と呼び、気体の性質(高拡散性)と液体の性質(物質の溶解力)を持ち合わせています。

この特性を生かして、化学・食品分野では環境負荷の高い有機溶媒の代替として、また、半導体・MEMS等の分野では超微細部の洗浄・乾燥溶媒として利用することができ、環境にも優しい技術として注目されています。

10.19 UP!

SEMICON JAPAN 2009 出展

2009.12.2~12.4

10.19 UP!

ADMETA 2009にて研究発表

2009.10.19~10.21

5.22 UP!

第20回
マイクロマシン/MEMS展出展

2009.7.29~7.31

4.10 UP!

平成21年春期第70回
応用物理学会にて研究発表

2009.4.1


KISCOでは超臨界技術を応用したCuめっき膜のアニール技術
膜中に含まれる不純物の除去技術(抽出洗浄)等、新規技術の研究開発を進めております。
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