静電気とは一言でいうと「動かない電荷」です。この動かない電荷がデバイス内に帯電し、デバイスのピンが接地された時に電荷は外部に流れます。この時流れる電荷量が動電荷量です。デバイスの静電破壊はほとんどこの動電荷で壊れます。静電気管理の第一歩はこの動電荷量を抑えることです。
- 従来方式との大きな違い -
今までの表面電位計では?今までの表面電位計は測定物から一定の距離をおいて計測するのが一般的でしたが、距離によっては表示値も大幅に異なり、数ボルト単位の表面電位は求める事が出来ませんでした。また測定物が小さい場合には、その周りの表面電位も計測してしまい、正確な値を求める
ことができませんでした。
表面電位ではなく電荷量を計測しますクーロンメーターは表面電位ではなくデバイス内部に帯電した電荷をプローブに放電させる事により、
いままでは予測できなかったデバイスの静電破壊を再現性に優れた数値で計測する事が出来ます。導電
性の物であればすべてのものに対応致します。
- メリット -
動いている電荷量を測定するから
測定物が小さい場合にでも、直接接触するため正確な値が求められます。
(最小測定値:0.01nC)
直接接触タイプだから
計測数値は放電される電荷量の数値なので、デバイスが破壊される数値が予測できます。
- 用途 -