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地球環境にやさしいエッチング残渣除去剤 EcoPeeler

EcoPeelerは、"地球環境にやさしい"を開発コンセプトにした全く新しいタイプのエッチング残渣除去剤です。微細化が飛躍的に進む半導体製造工程では、従来から強酸・強アルカリ、劇毒物などが使用され、作業者の安全性、環境面での問題が発生していました。
EcoPeelerは、劇毒物・危険物等の有害物を一切含まず直接水リンスが可能という、これまでの半導体洗浄プロセスの常識を大きく変える画期的な環境にやさしい商品です。


開発コンセプト

以下のコンセプトのもとに開発されたEcoPeelerは、HDA(ヒドロキシルアミン)他、一切の危険物・毒劇物、有機溶剤を含まない無色透明・無機系の水溶液です。pHコントロールが可能で、様々な材料や条件に適応しやすい特長があります。
廃水処理や作業環境に特別の設備を必要としないためコスト削減にも有効です。